Преобразователи давления, уровнемеры, датчики реле уровня
Измерительные преобразователи давления
Измерительные преобразователи давления. B различных видах ПХО используются широкие диапазоны давлений: от 0,1 до 10 Па при реактивно-ионном травлении, 10-103 Па при плазмохимическом травлении и до 103-105 Па в устройствах транспортирования и шлюзования. Полностью весь этот диапазон не перекрывается ни одним из известных измерительных преобразователей давления, поэтому каждая установка ПХО содержит несколько преобразователей разных типов.
Для измерения давления в реакторе наиболее подходят деформационные вакуумметры, в которых давление определяется по деформации чувствительного элемента, например тонкой мембраны, разделяющей объем, где измеряются давление и внутренний объем датчика, давление в котором на несколько порядков ниже нижней границы диапазона измерения. Применение деформационных вакуумметров в оборудовании ПХО обусловлено, во-первых, широким диапазоном измеряемых давлений 0,1-103 Па, во-вторых, устойчивой работой в агрессивных средах и, в-третьих, высокой точностью измерений и независимостью показаний от используемых газов.
уровнемер, уровнемер радарный, ультразвуковые уровнемеры, преобразователи давления, расходомер, датчик реле уровня, преобразователи давления, преобразователь разности давлений, датчик давления,