Производственные помещения

Поскольку оборудование является одним из основных источников загрязнений, в последние несколько лет стали помещать основные виды оборудования (например, системы травления, системы нанесения тонких пленок, установки ионной имплантации) вдоль внешней стены чистого помещения таким образом, чтобы только загрузочно-разгрузочные устройства находились внутри чистого помещения. Остальная часть оборудования (такая, как насосы, моторы, генераторы и другие машины, генерирующие загрязняющие частицы) находится при этом в отдельно обслуживаемом и доступном помещении. Таким образом; когда пластины выходят из технологического оборудования, они находятся внутри помещения (цеха), где загрязнения минимальны. Однако современные и перспективные СБИС требуют чистых помещений еще более высокого класса, которого очень трудно достигнуть.

Одни специалисты полагают, что добиться более высокого класса можно только исключением людей из чистых комнат, другие полагают, что операторы должны надевать костюмы, подобные космическим, покрывающие лицо и все тело целиком. Чистые помещения, которые только начинают разрабатывать и оценивать, обеспечат полностью автоматическую обработку индивидуальных пластин и партий пластин. Роботы могут передавать пластины и партии пластин от одного места обработки к другому, загружать пластины в различное технологическое оборудование и выгружать их из него. B этом случае операторы смогут находиться в удаленных местах, управляя оборудованием c помощью ЭВМ.

Разработка такого цеха (завода) потребует большого инженерного искусства, a его освоение вызовет необходимость продуманной стратегии и материально-технического планирования. Загрязнение помещений самими роботами и другими механическими обрабатывающими устройствами должно быть устранено. Кроме того, необходимо искать пути лучшего управления другими источниками загрязнений, такими, как жидкие и твердые химикаты, используемые при производстве, и контейнеры, в которых содержатся пластины при движении их от одной операции к другой. При этом пластины сами могут быть источником дополнительных загрязнений, если они обрабатываются неправильно.